納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術（Depth-SensingIndentation，DSI)，是簡單的測試材料力學性質的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學性質，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。

　　納米壓痕儀通過掃描材料表面實現對材料力學性能的納米尺度的高精度測量，精確給出硬度，彈性模量，楊氏模量等材料力學性能，并實現靜態壓痕測量和動態壓痕測量以及sclerometry測量，同時具備原子力顯微鏡和納米硬度測量儀的功能。

　　納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。

　　納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統、移動線圈系統、加載系統及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗時，首先輸入初始參數，之后的檢測過程則*由微機自動控制，通過改變移動線圈系統中的電流，可以操縱加載系統和壓頭的動作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應變儀來完成，同時應變儀還將信號反饋到移動線圈系統以實現閉環控制，從而按照輸入參數的設置完成試驗。